マルチモードSAWによる液体の音響的特性評価
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概要
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SV(Shear vertical)とSH(Shear horizontal)モードの弾性表面波を使って液体の音響的な特性を測定する方法について述ぺる。弾性表面波(Surface acoustic wave:SAW)には、SHモードとSVモードの2種類があり、それぞれ気体用、液体用のセンサへと応用されている。ここでは、この2つのモードを同時に使うことにより、液体の密度や粘性そして音速等の音響的特性を測定する方法を検討した。実験では、36゜rotated Y cut LiTaO_3基板にSH、SVの2つのモードのSAWを同時に励振し、グリセリン溶液を負荷したときの、それぞれの伝搬特性を測定した。その結果、SVモードの伝搬は溶液の密度に、SHモードの伝搬は溶液の密度と粘性の積に依存することが確かめられ、音速、密度、粘性を分雛して測定できることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-11-21
著者
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