ヘテロLB膜を用いた弾性表面波センサの特性
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概要
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弾性波素子を用いた気相化学センサは、一般に素子表面に化学物質を選択的に吸着する感応膜(有機薄膜等)を塗布して構成される。このような分子とセンサ感応膜の吸着現象には、分子と膜の電気双極子間での相互作用が関係し、極性を持った分子が膜に吸着される時にはセンサの応答に影響を及ぼすことが、最近の水晶振動子を用いた研究で分かってきた。本研究では、性質の異なるLB膜(有機単分子膜)を交互に累積したヘテロ構造LB膜を感応膜として利用した弾性表面波気相センサを作製し、水晶振動子では困難な双極子相互作用のセンサに対する電気的な効果を調べた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
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