1-06P-65 部分的水面キャスト分子膜によるSAWセンサ(ポスターセッション 1)
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概要
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The study was made to build chemical sensors of multi-channel surface acoustic wave (SAW) sensors with several kinds of odor-sensitive films. SAW devices can be used as vapor phase chemical sensors. However, it is generally difficult to make gas sensitive films in the propagation path of monolithic multi-channel SAW devices. This paper describes the coating method by which several types of gas-sensitive molecular films can be coated on the paths. The method is called "Water surface partial casting molecular method". We coated with stearic acid and CuPc on ST cut Quarts, and measured the frequency shift by mass loading effect. The concentration of the spread solution and the compression ratio make a significant influence on the uniformity of the film thickness.
- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2007-11-14
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