2端子弾性表面波共振器による液体センサ
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概要
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弾性表面波(Surface Acoustic Wave)は、周囲の環境により伝搬特性が大きく変化する。このため、SAWデバイスは、センサとして利用される。本論文では、2-port SAW共振器を用いたフロー系液体センサを製作し、液体の諸特性の測定を試みた。ここでは、液体用の2-port SAW共振器について説明し, そのフローセンシングシステムへの応用を示す.実験では, この液体のフローセンシングシステムを用いた各種の液体に対する測定とその結果を示す.最後に、本センシングシステムの特徴である、小型(微小量の試料液体で測定が可能)で、高安定な動作を生かして、液体クロマトグラフィの検出部に利用した結果を示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-09-10
著者
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