Y-cut水晶振動子を用いたガスセンサに関する研究 (特集1:バルク波デバイス)

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概要

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著者

• 齋藤 敦史

  芝浦工大

• 浅利 征宏

  芝浦工大・工

• 齋藤 敦史

  芝浦工業大学大学院工学研究科

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