US2000-31 / EMD2000-27 / CPM2000-42 / OME2000-37 水晶振動子ガスセンサ応答解析
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概要
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水晶振動子ガスセンサの応答波形を時系列解析することで、センサのガス分子吸着特性の数値化を試みた。ここでは、センサ表面へのガス分子吸着過程をLangmuir吸着理論を元にモデル化し、吸着過程式を導いた。得られた吸着過程式と実際のセンサ応答波形データとを最小二乗法によりカーブフィットをおこない、センサ応答波形を十分に表せることを示した。また、解析の結果得られる式中のパラメータは、感応膜のガス分子吸着特性を表す数値となる。より詳細な検討が必要であるが、解析結果を用いることで感応膜の吸着特性を数値化できるものと思われる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-30
著者
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