マルチチャンネル型SAWセンサの構成
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概要
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弾性表面波(SAW)デバイスを化学センサをはじめとする各種の計測用センサへ応用する試みがなされている。SAWセンサの特徴の一つに同一平面上に複数のセンサチャンネルを設け、平面構造でセンサアレイを構成できることがある。しかし、これまで示されたSAWセンサでこのような特徴を生かしたセンサの例は少ない。ここでは、このようなことを考慮し、一つの基板上に遅延線型のセンサアレイを構成する方法とその回路構成について提案する。
- 電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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