液相用表面波デバイスとその液体センシングへの応用
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概要
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SH (Shear horizontal)-mode SAWは液体中でも、ほとんどエネルギーを放射することがない為、液相用のセンサとして利用されている。本報告では、SH-mode SAWを用いて、金属ストリップからなる反射器とそれを利用したSAW共振器の基本特性を調べ、液体中でのセンシングを試みた。実験では、ストリップの数を変えた4つの反射器を製作し、グリセリン水溶液を負荷した時の、それぞれの反射・伝達特性を調べた。次に、この反射器を使い2-port SAW共振器を製作し同様の実験を行った。その結果、ごく少量の試料液体でのセンシングが可能で、その特性は液体の密度と粘性率の積に依存することが確かめられた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-06-26
著者
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