薄膜技術による多機能型弾性表面波センサの開発

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概要

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• 芝浦工業大学連携推進部の論文

著者

• 野村 徹

  芝浦工業大学工学部

• 古川 昌司

  九州工業大学

• 塩川 祥子

  Saw&spr-tech株式会社

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