US2000-30 / EMD2000-26 / CPM2000-41 / OME2000-36 端面反射SH-SAWを用いたセンサの特性
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概要
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SH-SAW(Shear horizontal type surface acoustic wave)は、表面に水平な粒子変位成分のみを有し、直角のコーナーに入射すると完全反射する。本報告では、直角エッジを有する36゜YX LiTaO_3基板を使い、反射型のSH-SAWセンサを構成し、液体中で動作させ基本的な動作を明らかにした。次に、この特性にあったセンサプローブの構造について提案し、実験的にその特性を示した。最後に、実際のセンシングシステムの構成について提案した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-30
著者
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