高分子誘電体薄膜を用いた表面波湿度センサ

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概要

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薄膜による電気的摂動、特に膜の誘電率の変化を利用した弾性表面波湿度センサについて示す。弾性表面波(SAW)は、そのエネルギーのほとんどが基板表面に集中しているため、表面や表面近傍の弾性的電気的条件に対して非常に反応し、その伝搬特性は周囲の環境により大きく影響される。本論文では、誘電率の変化する感湿膜として知られている酢酸セルロースを128°YX LiNbO_3基板上のSAW遅延線の伝搬面に塗布し、その誘電率を湿度により変え、SAWの伝搬特性の変化を調べた。その結果、SAW速度は、10%の相対湿度変化に対し0.36m, s変化し、薄膜の電気的効果を利用したセンサが構成できることが分かった。
社団法人電子情報通信学会の論文
1993-07-22

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