弾性表面波による質量流量センサの開発
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概要
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弾性表面波(Surface Acoustic Wave: SAW)デバイスを使った気体の質量流量の測定について述べる。気体の流量の測定には、熱式方法によるマスフローセンサが用いられる。SAWデバイスは温度に対し、敏感な特性を持つ。この特徴を利用し、SAWデバイスを熱式流量計へ応用することを検討した。マスフローセンサは、気体と接触しない温度補償用の参照チャンネルと気体と接触するセンシングチャンネルの2チャンネルの遅延線によって構成されている。一定温度に保たれたSAW遅延線上に気体がながれるときに生じる遅延線の温度変化を速度変化として測定することで、気体の質量流量の変化を知ることができる。乾燥空気を用いた実験では、質量流量と速度変化の関係を明らかにし、SAW遅延線は流量形の検出器として適していることを示す。また、複数の気体を用いた測定では、気体の種類によらず流量が測定でき、流量計として有効であることを示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-07-17
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