G-4 Y-cut水晶振動子を用いたガスセンサに関する研究(バルク波デバイス,口頭発表)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 2001-11-07

著者

• 齋藤 敦史

  芝浦工大

• 野村 徹

  芝浦工大・工

• 齋藤 敦史

  芝浦工大・工

• 浅利 征宏

  芝浦工大・工

• 竹林 民佳

  芝浦工大・工

• 齋藤 敦史

  芝浦工業大学大学院工学研究科

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