くし型電極を用いた半導体ガスセンサの研究(化学センサー・一般)

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概要

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本研究では半導体ガスセンサの選択性の向上を目的とし、センサの電極をくし型構造に改良した。従来の半導体ガスセンサはガス分子の酸化・還元反応によって生じる膜導電率変化のみでガスを検出していた。一方、くし型電極はR-C並列等価回路で表すことができるため、膜の導電率・誘電率双方の変化によりガス検出が可能となる。しかし、誘電率の変化を得るためには膜導電率の制御が必要である。本報告では、くし型電極を用いた半導体ガスセンサの応答特性、特にヒータ電圧との関係について述べる。
社団法人電子情報通信学会の論文
2004-09-09

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