反射形弾性表面波デバイスのセンサへの応用
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概要
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弾性表面波(Surface acoustic wave: SAW)は固体表面にエネルギーを集中し伝搬する為、伝搬路表面に周期的な摂動を与える事によって容易に大きな反射波を得る事ができる。この現象を利用する事により、一部分にエネルギーを集中させ、鋭い周波数選択性を持つ共振器タイプのセンサを構成できる。本報告では、液体中においてもエネルギーの放射が少ないSH (Shear horizontal) -mode SAWを用いて2-port SAW共振器を製作し、液体中でのセンシングを試みた。実験では、イオン溶液を負荷した時の共振特性の変化を調べ、次に液体フロー系システムを構成し、数種類のイオン溶液の識別を行った。その結果、イオンの種類により過渡応答が異なり、溶液の識別が可能なことが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-02-05
著者
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