酸化半導体を用いた3チャンネル平面型匂いセンサーの特性(有機EL及び関連有機材料, 低温poly-Siと有機TFT技術と一般)

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概要

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近年、食料品の鮮度測定や麻薬の取り締まり、及び化粧品等、匂いを発する製品の品質管理など、匂いセンサーのニーズは多い。匂いセンサーには、超音波振動子型、表面プラズモン型、酸化半導体型など、いくつかの種類がある。酸化半導体を用いた匂いセンサーにおいては、匂い物質が存在すると酸化半導体の表面状態が変化し、半導体の電気抵抗が変化する性質を利用する。我々は、円筒型の酸化半導体を用いた2チャンネル匂いセンサーを作製し、紅茶などの匂いの識別に成功している。今回、酸化半導体を用いた3チャンネル平面型匂いセンサーを作製し、紅茶などの匂いの識別を試みたので、それらの結果について報告する。
2005-04-14

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