真空蒸着されたポリジメチルシラン薄膜の光物性の作製条件依存性(センサデバイス・MEMS・一般)

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概要

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有機ポリシランは、興味深い光物性を示す。これは、主鎖のSi-Si結合を構成するσ-共役電子によるものである。そのため、有機ELなどに応用する研究が進められている。ポリジメチルシランは有機ポリシランの一種である。我々は、ポリジメチルシランを真空蒸着することで薄膜を作製した。これまで、蒸着時の圧力を変化させることで、配向制御に成功した。本研究では、蒸着圧力を8×10^<-5>〜9×10^<-5>[Torr]とし、基板温度を変化させ成膜を行った。作製された薄膜について、X線回折パターン、可視紫外域光吸収特性を測定した。その結果、可視紫外域光吸収特性に関して興味深いデータが得られた。
2003-08-26

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