ポリジメチルシラン薄膜の構造と物性に関する一考察(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
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概要
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ポリジメチルシランは安価で市販されているが、室温で有機溶媒に不溶である。そのため、我々は、真空蒸着法による薄膜化を提唱し、真空蒸着時のパラメータ(蒸着速度、基板温度、及び真空度)を変化させることにより、ポリジメチルシランの主鎖の配向性を制御することに成功した。本研究では、ポリジメチルシラン真空蒸着膜の構造と物性について考察したので、それらの結果について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-04-10
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