ポリジメチルシラン真空蒸着膜の光学的及び電気的特性の経時変化(有機EL及び関連有機材料, 低温poly-Siと有機TFT技術と一般)

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概要

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有機ポリシランの中でも最も基本的な構造を持つポリジメチルシランを用いて、真空蒸着法により薄膜を作製した。作製した薄膜に光を照射し、その光学的及び電気的特性の経時変化を測定した。その結果、紫外吸光スペクトルにおいて、照射時間に依存して有機ポリシラン特有の非局在化したσ電子による吸光ピーク強度が減少した。赤外吸光スペクトルにおいては、照射時間に依存してSi-O結合によると考えられる吸光バンドが増加した。直流電流測定においては、薄膜に光照射を行うと電気伝導度が増加するという結果を得た。また、光照射の前後で電気伝導度は非可逆な変化を示す事も確認した。さらに、照射光の紫外部を除去すると、電気伝導度の増加率が著しく減少することが分かった。この事は、電気的特性の変化に紫外光が大きく寄与する事を示している。
社団法人電子情報通信学会の論文
2005-04-14

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