紫外線照射による有機ポリシランの構造変化(センサデバイス・MEMS・一般)
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概要
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有機ポリシランの光化学的特徴の1つとして光分解性がある。有機ポリシランは大気中で紫外線照射することにより、主鎖のSi-Si結合や主鎖と側鎖間の結合が切断され、Si-O-Si結合やSi-OH結合が生成される。この様に、ポリシランは紫外線照射による光分解性を持つことが報告されている。本研究では、この光分解の機構に関して、ポリメチルフェニルシラン及びポリシラスチレンという構造が類似している2つのポリシランについて、紫外線照射による光分解後の色素染色の度合いを比較し、モノマーの相違による光分解の機構の相違を研究した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-09-14
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