高濃度ホウ素イオン注入チタン薄膜のキャラクタリゼ-ション (薄膜の形成と構造<特集>) -- (無機薄膜)
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概要
著者
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中島 健介
山形大学大学院理工学研究科
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中島 健介
長岡技科大
-
岡本 祥一
長岡技科大工
-
岡本 祥一
長岡技術科学大学:(現)長岡工業高等専門学校
-
小林 健吉郎
Department Of Materials Science Shizuoka University
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