GaAs系エッチングナノワイヤCCDにおける同期電荷転送と効率に関する検討(半導体プロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)
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概要
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化合物半導体ナノワイヤネットワークを母体構造とした省面積・低消費電力論理回路の実現を進めているが,その集積システム化においてはネットワーク中を伝搬する信号の同期化が必要である.本報告では,GaAsネットワーク上に実装可能な同期化素子としてナノワイヤ電荷結合素子(CCD)を取りあげ,クロック同期化した信号伝送およびその効率について検討を行った結果について述べる.試作素子においてMHzオーダーの信号転送を実現した.一方,動的信号に対する転送効率はナノワイヤ表面状態に強く依存し,少数電子転送に大きな影響を及ぼす.SiNを用いた表面不活性化による転送効率の改善を図った.
- 2012-07-19
著者
-
葛西 誠也
北海道大学大学院情報科学研究科:北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター:jstさきがけ
-
Kasai S
Graduate School Of Environmental Earth Science Hokkaido University
-
中野 雄紀
北海道大学大学院情報科学研究科および量子集積エレクトロニクス研究センター
-
葛西 誠也
北海道大学 大学院情報科学研究科
-
葛西 誠也
北大院情報科学および量集センター:jstさきがけ
-
田中 貴之
北海道大学大学院情報科学研究科及び量子集積エレクトロニクス研究センター
-
葛西 誠也
北海道大学
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