CMOS-MEMS技術を用いたファブリ・ペロー干渉計による非標識タンパク質センサ(固体撮像技術および一般〜IEDM, SPIE EI, ISSCC特集〜)
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概要
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本研究では,超高感度に表面応力の検出が可能なファブリ・ペロー型MEMSセンサと信号処理回路の集積化プロセス技術の開発を行った.提案するセンサは,ファブリ・ペロー干渉を利用し,膜の変位を透過率の変化に変換し,フォトダイオードで信号を読み出すことにより,非標識にタンパク質を検出することができる.センサの理論的最少検出限界は1μN/mで,これは従来のピエゾ検出方式を二ケタ上回る.2次元にアレイ化されたMEMSセンサからの微小な光電流は集積化されたソースフォロワ回路と選択回路によって信号処理することで読み出される.製作したMOS回路およびMEMSセンサの動作を確認し,集積化プロセス技術の確立に成功した.この集積化MEMSセンサアレイは複数のガンのスクリーニング検査に適用することが可能である.
- 2013-03-15
著者
-
澤田 和明
豊橋技術科学大学電気・電子工学系
-
石田 誠
豊橋技術科学大学
-
澤田 和明
Intelligent Sensing System Research Centor Toyohashi University Of Technology
-
澤田 和明
豊橋技術科学大学
-
高橋 一浩
豊橋技術科学大学
-
二川 雅登
豊橋技術科学大学
-
澤田 和明
豊橋技科大
-
Sawada K
Shizuoka Univ. Hamamatsu
-
Ishida M
Intelligent Sensing System Research Centor Toyohashi University Of Technology
-
Ishida M
Univ. Tsukuba Tsukuba Jpn
-
二川 雅登
豊橋技術科学大学 テーラーメイド・バトンゾーン教育推進本部
-
太斎 文博
豊橋技術科学大学
-
大山 泰生
豊橋技術科学大学
-
小澤 遼
豊橋技術科学大学
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