酸化膜還元法による極薄エピタキシャルγ-Al_2O_3膜の作製とデバイス応用

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概要

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• 2006-05-11

著者

• 石田 誠

  豊橋技術科学大学電気・電子工学系

• 澤田 和明

  豊橋技術科学大学電気・電子工学系

• 石田 誠

  豊橋技術科学大学

• 澤田 和明

  豊橋技術科学大学

• 伊藤 幹記

  豊橋技術科学大学

• 岡田 貴行

  豊橋技術科学大学 電気・電子工学系

• Sawada K

  Shizuoka Univ. Hamamatsu

• Ishida M

  Univ. Tsukuba Tsukuba Jpn

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