シリコン光検出系を一体化した高分解能吸光光度測定チップ(アナログ・ディジアナ・センサ,通信用LSI)

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概要

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• 本研究では高分解能の吸光光度測定マイクロチップを提案,作製,評価した.チップはGlass/Si/Siの3層構造であり,中間層Siには両端に45度ミラーを持つ溶液流路を形成した.フォトダイオードとMOS集積回路は最下層Siに形成した.特性測定の結果,本チップは同じ光路長を持つ小型化されていない吸光セルと同等の性能であることが確かめられた.また溶液濃度に応じて信号処理された出力電圧が変化し,差動信号処理により高い安定性が得られた.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2004-07-06

著者

• 高尾 英邦

  豊橋技術科学大学電気・電子工学系

• 石田 誠

  豊橋技術科学大学電気・電子工学系

• 澤田 和明

  豊橋技術科学大学電気・電子工学系

• 足木 光昭

  豊橋技術科学大学工学部電気電子工学系

• 石田 誠

  豊橋技術科学大学

• 野田 俊彦

  豊橋技術科学大学

• 澤田 和明

  豊橋技術科学大学

• 高尾 英邦

  豊橋技術科学大学

• Sawada K

  Shizuoka Univ. Hamamatsu

• 野田 俊彦

  奈良先端科学技術大学

• Ishida M

  Univ. Tsukuba Tsukuba Jpn

• 足木 光昭

  豊橋技術科学大学 電気・電子工学系

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