Fabrication of temperature sensor using thermopile based on silicon on insulator (SOI) structure (Electron devices: 第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))

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概要

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• This paper presents a temperature measurable contact and non-contact type thermopile based on SOI structure. The sensor was designed with n-type and p-type single crystal silicon strips of 17 pairs and selective absorption film (SAP) that consists of aluminum and silicon dioxide. We have fabricated the thermopile based on SOI structure using a complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) process. Measured sensitivity of the sensor was 0.19mV/℃, when the human skin directly touched on the sensor. In the non-contact measurement of the sensor as varying distance between the lamp (NEC, EFD10EL/8) and sensor, the maximum electromotive force of the sensor was -1.55mV at 2mm distance.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2007-06-18

著者

• 澤田 和明

  豊橋技術科学大学電気・電子工学系

• 高尾 英邦

  Intelligent Sensing System Research Centor Toyohashi University Of Technology

• ISHIDA Makoto

  Dept. of Electrical & Electronic Eng., Toyohashi Univ. of Technology

• Lee Wang

  Department Of Electrical And Electronic Engineering Toyohashi University Of Technology

• Sawada K

  Shizuoka Univ. Hamamatsu

• Ishida M

  Intelligent Sensing System Research Centor Toyohashi University Of Technology

• Ishida M

  Univ. Tsukuba Tsukuba Jpn

• Ishida Masayoshi

  Institute Of Engineering Mechanics And Systems University Of Tsukuba

• Ishida M

  Institute Of Applied Physics Crest Japan Science And Technology Corporation University Of Tsukuba

• LEE Wang-Hoon

  Dept. of Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology

• LEE Young-Tae

  Dept. of Information Technology and Electronics Education, An-dong National University

• TAKAO Hidekuni

  Dept. of Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology

• SAWADA Kazuaki

  Dept. of Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology

• Lee Young-tae

  Dept. Of Information Technology And Electronics Education An-dong National University

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