30aXD-7 陽電子消滅法によるSi中不純物ゲッタリング挙動の研究(30aXD X線,粒子線(陽電子消滅),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2006-03-04
著者
-
藤浪 真紀
千葉大院工
-
前川 雅樹
日本原子力研究開発機構先端基礎研
-
河裾 厚男
原子力機構先端基礎研
-
赤羽 隆史
物材機構
-
藤浪 真紀
東大 大学院
-
松川 和人
(株)ルネサステクノロジ
-
松川 和人
ルネサステクノロジ技術開発統括部
-
原田 博文
シルトロニック・ジャパン(株)
-
前川 雅樹
原子力機構・先端基礎研
-
小熊 幸一
千葉大院工
-
藤浪 真紀
千葉大工
-
渡辺 和也
千葉大工
-
小熊 幸一
千葉大工
-
河裾 厚男
原子力機構・先端基礎研
-
河裾 厚男
原子力機構 先端基礎研
-
前川 雅樹
原研 高崎研
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