原田 博文 | シルトロニック・ジャパン(株)
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概要
関連著者
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松川 和人
(株)ルネサステクノロジ
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原田 博文
シルトロニック・ジャパン(株)
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平尾 雅彦
大阪大学大学院基礎工学研究科
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松川 和人
ルネサステクノロジ技術開発統括部
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荻 博次
大阪大大学院基礎工研究科:jstさきがけ
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荻 博次
阪大
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平尾 雅彦
大阪大学 大学院基礎工学研究科
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藤浪 真紀
千葉大院工
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前川 雅樹
日本原子力研究開発機構先端基礎研
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河裾 厚男
原子力機構先端基礎研
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赤羽 隆史
物材機構
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藤浪 真紀
東大 大学院
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荻 博次
阪大院,基礎工
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平尾 雅彦
阪大院,基礎工
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前川 雅樹
原子力機構・先端基礎研
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吉田 裕希
大阪大基礎工
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荻 博次
大阪大基礎工
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平尾 雅彦
大阪大基礎工
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小熊 幸一
千葉大院工
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谷垣 健一
阪大院
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藤浪 真紀
千葉大工
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渡辺 和也
千葉大工
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小熊 幸一
千葉大工
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谷垣 健一
大阪大基礎工
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河裾 厚男
原子力機構・先端基礎研
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河裾 厚男
原子力機構 先端基礎研
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前川 雅樹
原研 高崎研
著作論文
- 1J2-5 共振ヤング率顕微鏡を用いたSiウェハー内の酸素析出物の評価(測定技術,映像法,非破壊評価II)
- J0406-1-3 ピコ秒レーザー超音波法によるSiウェハー中のナノ欠陥評価(超音波計測・解析法の新展開(1))(超音波計測・解析法の新展開(1))
- 30aXD-7 陽電子消滅法によるSi中不純物ゲッタリング挙動の研究(30aXD X線,粒子線(陽電子消滅),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))