J0406-1-3 ピコ秒レーザー超音波法によるSiウェハー中のナノ欠陥評価(超音波計測・解析法の新展開(1))(超音波計測・解析法の新展開(1))
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The concentration and size of oxygen precipitations in Si wafers which called bulk microdefects (BMD) affect the electrical and mechanical properties of devices. Recent device miniaturization requires the evaluation of BMDs with a nondestructive manner. In this study, we propose to inspect those nano-defects from the stiffness change at local regions of Si wafers measured by ultrahigh-frequency acoustic waves. Brillouin oscillations provide the stiffness showing high sensitivity to thin defects such as BMDs. Application of an ultrafast light pulse to the specimen generates the acoustic phonon pulse. We then irradiate the specimen with the time-delayed light pulse. which is diffracted by the phonon pulse, and its reflectivity change shows oscillations. This oscillation frequency gives the longitudinal-wave velocity, from which the elastic stiffness is obtained. Our results indicate that the nano-defects decrease the out-of-plane elastic constant of the Si wafer, confirming that this methodology can be a powerful tool for quantitative evaluation of BMDs.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
-
平尾 雅彦
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
松川 和人
(株)ルネサステクノロジ
-
松川 和人
ルネサステクノロジ技術開発統括部
-
荻 博次
阪大院,基礎工
-
平尾 雅彦
阪大院,基礎工
-
原田 博文
シルトロニック・ジャパン(株)
-
谷垣 健一
阪大院
-
谷垣 健一
大阪大基礎工
-
荻 博次
大阪大大学院基礎工研究科:jstさきがけ
-
荻 博次
阪大
-
平尾 雅彦
大阪大学 大学院基礎工学研究科
関連論文
- 負荷応力下でのニッケルの磁歪特性
- ロータス型ポーラス金属の巨視的弾性率 : 新たな平均場近似法による定量予測
- B-2 超音波共鳴スペクトロスコピーによるCVDダイヤモンド薄膜の弾性定数測定(材料・計測,口頭発表)
- 電磁超音波共鳴法およびRUS/レーザー法によるアモルファス合金薄膜の弾性定数測定(マイクロマテリアル)
- Cu汚染起因ピット不良の評価と水素アニールおよびエピタキシャル成長による改善
- 1J2-5 共振ヤング率顕微鏡を用いたSiウェハー内の酸素析出物の評価(測定技術,映像法,非破壊評価II)
- シリコンウェハの技術動向 (超LSI製造・試験装置ガイドブック 2001年版) -- (総論)
- 3P3-19 多チャンネル無電極QCMを用いた凝集核形態に依存するAβペプチド凝集能に関する研究(ポスターセッション)
- 3P3-17 170MHz無電極QCMバイオセンサの開発(ポスターセッション)
- J0406-1-2 ナノ構造物の共振計測と超高感度バイオセンサへの応用(超音波計測・解析法の新展開(1))
- 1J4-2 無線・無電極QCMを用いたアミロイドβ凝集過程のモニタリング(バルク波デバイス/弾性表面波デバイス)
- ブリルアン振動を用いた酸化物薄膜の弾性定数測定と組織評価
- 2E1 ピコ秒レーザー超音波法による酸化物薄膜の弾性定数測定と組織評価(一般英語口演 I)
- 波長可変ピコ秒超音波法の開発と酸化物薄膜の減衰評価法の提案
- J0406-1-3 ピコ秒レーザー超音波法によるSiウェハー中のナノ欠陥評価(超音波計測・解析法の新展開(1))(超音波計測・解析法の新展開(1))
- 30aXD-7 陽電子消滅法によるSi中不純物ゲッタリング挙動の研究(30aXD X線,粒子線(陽電子消滅),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 6061および7075アルミニウム合金の衝撃引張特性に及ぼす環境水素の影響
- 3J1-2 ピコ秒レーザー超音波法を用いた極低温領域における薄膜の弾性定数計測(超音波物性・光超音波)
- 2P1-2 ピコ秒超音波法によるFe/Pt磁性超格子の弾性特性評価(ポスターセッション)
- 2P1-1 波長可変ピコ秒超音波法による酸化物薄膜の減衰評価(ポスターセッション)
- 第一原理計算によるナノ結晶ダイヤモンドの非sp^3結合領域の構築とその弾性特性に及ぼす影響の解析
- 電磁超音波センサによるSH板波のモード変換を利用したパイプの減肉検査
- J0406-1-6 サブテラヘルツ超音波によるナノ薄膜の弾性定数計測(超音波計測・解析法の新展開(1))(超音波計測・解析法の新展開(1))
- 弾性波の非線形相互作用と応力の効果
- P3-38 RUS/レーザー法とピコ秒レーザー超音波法による銅薄膜の弾性異方性の研究(ポスターセッション3(概要講演))
- 電磁超音波共鳴法によるNi基耐熱合金のクリープ損傷と超音波減衰ピーク
- 電磁超音波センサによる縦波を用いた銅パイプの探傷
- 電磁超音波センサを用いた最適波形法による鋼管の減肉検査
- 電磁超音波センサによる鋼管の探傷
- 超音波による皮質骨の異方性弾性定数の測定
- 負荷応力下でのインバー合金の磁歪特性
- 超音波の反射係数を用いた皮質骨の音響インピーダンス分布の測定
- 電磁超音波センサによる軟鋼ワイヤのロングレンジ探傷
- 磁歪を用いた軟鋼の非破壊応力測定における塑性変形の影響
- 損傷発展式に基づく純銅クリープ寿命の推定
- ワイヤにおける縦波速度分散のシミュレーション
- ワイヤ中の縦波に対する分散の補正
- 軟鋼ワイヤの探傷における送信波形の最適化
- 軟鋼ワイヤの縦波用電磁超音波センサの送受信特性
- 軟鋼ワイヤの縦波用多段電磁超音波センサの開発
- 純銅クリープボイドによる超音波後方散乱ノイズ強度の異方性
- 大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系専攻機械科学分野平尾研究室
- 超音波共鳴法によるロータス型ポーラスマグネシウムの弾性定数測定
- 多結晶強磁性体における磁気弾性結合のシミュレーション
- 軟鋼の磁気的性質に及ぼす結晶粒径の影響
- 312 点接触共振法による CSP の非破壊検査 : RUS /レーザー計測と共振モード解析
- 点接触超音波共振法によるICパッケージの非破壊検査
- 薄膜弾性定数の測定
- 2821 電磁超音波共鳴法による低炭素鋼の疲労過程のモニタリング(S37-1 非破壊評価とモニタリング(1),S37 非破壊評価とモニタリング)
- 高温用合金鋼ボルト材のクリープ損傷にともなう超音波減衰特性と材料微視組織の変化
- 624 無線・無電極ニッケル振動子免疫センサの開発(OS-2 生体用機器の開発)
- 超音波計測 金属薄膜の高速弾性回復現象--超音波共鳴法による弾性定数モニタリング
- 超音波計測 (111)配向した単結晶膜の弾性定数計測--超音波共鳴法と希土類ビスマス鉄ガーネット膜
- 1J-2 ピコ秒超音波と第一原理計算を用いたPtおよびPdの弾性定数の異常温度依存性の研究(超音波物性,フォノン物理,光超音波エレクトロニクス)
- 1Pa-27 無電極水晶振動子バイオセンサによる質量増感サンドイッチ法を用いたC反応性タンパク質の検出(ポスターセッション)
- 電磁超音波共鳴法を用いたPd基およびZr基バルク金属ガラスの高温弾性定数評価 (特集 金属ガラス)
- 超音波デバイス バルク金属ガラスの弾性定数とその温度依存性
- 2P1-3 超音波共鳴法を用いたC12A7単結晶の弾性定数計測(ポスターセッション)
- 1Pb-5 ピコ秒超音波法によるCuナノワイヤの共振計測とエレクトロマイグレーション軟化の観測(ポスターセッション)
- 1Pa-3 ピコ秒超音波によるCo/Cu超格子の弾性定数計測(ポスターセッション)
- 1Pa-1 Si誘電率の強い波長依存性を利用したピコ秒超音波による酸化物薄膜の減衰評価(ポスターセッション)
- 1Pa-28 シリコン微細流路カプセル型ベア水晶内蔵無電極高周波QCMチップの開発とその応用(ポスターセッション)
- 19pXB-1 Si中のCuゲッタリングサイトの陽電子消滅(格子欠陥・ナノ構造(半導体・ナノ粒子・表面界面),領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- ナノ結晶CVDダイヤモンド薄膜の弾性定数と内部組織の関係(高精度な新非破壊検査技術)
- 2E-4 テーパ部を有する板中のSHガイド波の伝ぱ挙動(測定技術,映像法,非破壊評価&圧電デバイス)
- ねじり波用電磁超音波センサによる銅パイプの探傷
- 超音波共鳴法とマイクロメカニックスによるポーラス銅の異方性弾性定数
- Co/Pt超格子薄膜の弾性定数のひずみ依存性と磁気異方性(マイクロマテリアル)
- 1228 分子動力学-Voronoi多面体法を用いたアモルファス固体の構造解析(G01-2 原子モデル・離散モデルシミュレーション,G01 計算力学)
- 超音波共鳴法による薄膜の弾性的性質の評価 : 銅薄膜の高速回復現象のモニタリング(表面特性評価のためのユニーク計測技術)
- CVD ダイヤモンド膜の異方性弾性定数の測定とマイクロメカニクスモデリング
- A-7 表面クラックにおけるレーリー波の反射と透過(一般講演)
- 電磁超音波センサによる横波を利用したボルトの軸力評価
- P3-37 無線・無電極水晶免疫センサの開発(ポスターセッション3(概要講演))
- P3-F-1 超音波反応系の共鳴モード解析と水中有機化合物の高効率分解(ソノケミストリー,ポスターセッション3(概要講演))
- 変形中の多結晶純銅における超音波音速と減衰の非接触・連続モニタリング
- 電磁超音波共鳴による純銅内の転位動特性の研究
- 516 2.25%Cr-1%Mo 鋼のクリープ損傷に伴う超音波減衰と材料微視組織の変化
- 2.25%Cr-1%Mo鋼のクリープ損傷に伴う超音波減衰と材料微視組織の変化
- 電磁超音波共鳴法による2.25Cr-1 Mo鋼のクリープ損傷評価
- 214 電磁超音波共鳴法を用いたSUS316L鋼のクリープ損傷評価(セッション6 振動評価・診断)
- 電磁超音波共鳴法を用いたNi基耐熱合金のクリープ損傷評価
- 電磁超音波共鳴法を用いたSUS316ステンレス鋼のクリープ損傷評価(OS9-5 電磁超音波法及び電磁気的方法,OS9 材料損傷・劣化過程の非破壊診断技術)
- 302 電磁超音波共鳴法による金属材料のクリープ損傷にともなう材料微視組織の変化の非接触モニタリングと余寿命評価
- 531 Ni 基耐熱合金 Waspaloy のクリープ損傷に伴う超音波減衰と材料微視組織の変化
- SUS304ステンレス鋼のクリープ損傷に伴う超音波減衰と材料微視組織の変化(実験計測技術の新展開)
- 電磁超音波共鳴による金属転位の勤特性観察勤特性観察 (最新内部摩擦測定)
- 冷延鋼板r値のオンライン計測
- 波長可変ピコ秒超音波法の開発と酸化物薄膜の減衰評価法の提案
- 27pGJ-11 ベータNMRによる^Cuの磁気モーメント測定(27pGJ 不安定核III,実験核物理領域)
- 高温における SiC_f/Ti クロスプライ複合材料の弾性定数テンソルの測定
- J0402-1-5 ピコ秒レーザー超音波法を用いた薄膜の極低温における弾性定数計測法の開発([J0402-1]超音波計測・解析法の新展開(1))
- 22aGQ-2 シリコン中銅不純物の挙動観測のための核プローブ開発(22aGQ 格子欠陥・ナノ構造(シリコン系材料),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 2Pb1-2 フェムト秒ファイバーレーザーを用いたピコ秒超音波システムの開発(ポスターセッション)
- 3Pa2-7 ピコ秒超音波法を用いたナノ薄膜バイオセンサの開発(ポスターセッション)
- 2Pa1-1 超音波スペクトロスコピーによるスパッタリング中の薄膜成長その場観察(ポスターセッション)
- 3Pa3-5 無電極水晶内蔵型MEMS-QCMバイオセンサの開発(ポスターセッション)
- Evaluation of Cu Contamination Induced Pit Failure and Improvement by Hydrogen Anneal and Epitaxial Growth
- 電磁超音波共鳴法を用いたPd基およびZr基バルク金属ガラスの高温弾性定数評価
- 1Jb3-1 ラムネ水晶振動子バイオセンサを用いた配向抗体によるC反応性プロテインの高感度検出(超音波物性,光超音波,圧電デバイス)