超音波共鳴法による薄膜の弾性的性質の評価 : 銅薄膜の高速回復現象のモニタリング(<特集>表面特性評価のためのユニーク計測技術)
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2007-08-05
著者
-
荻 博次
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
平尾 雅彦
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
中島 丈雄
大阪大基礎工
-
中村 暢伴
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
中島 丈雄
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
荻 博次
阪大
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