Cu汚染起因ピット不良の評価と水素アニールおよびエピタキシャル成長による改善
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概要
著者
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山本 秀和
三菱電機パワーデバイス製作所
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松川 和人
ルネサステクノロジ技術開発統括部
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益子 洋治
大分大学工学部
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木村 泰広
ルネサステクノロジ技術開発統括部
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片山 俊治
ルネサステクノロジ技術開発統括部
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福本 晃二
ルネサステクノロジ技術開発統括部
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福本 晃二
株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部
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