木村 泰広 | ルネサステクノロジ技術開発統括部

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概要

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• 同名の論文著者
• ルネサステクノロジ技術開発統括部の論文著者

関連著者

• 山本 秀和

  三菱電機パワーデバイス製作所

• 松川 和人

  ルネサステクノロジ技術開発統括部

• 益子 洋治

  大分大学工学部

• 木村 泰広

  ルネサステクノロジ技術開発統括部

• 片山 俊治

  ルネサステクノロジ技術開発統括部

• 福本 晃二

  ルネサステクノロジ技術開発統括部

• 福本 晃二

  株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部

著作論文

• Cu汚染起因ピット不良の評価と水素アニールおよびエピタキシャル成長による改善
• Evaluation of Cu Contamination Induced Pit Failure and Improvement by Hydrogen Anneal and Epitaxial Growth

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