福本 晃二 | ルネサステクノロジ技術開発統括部
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概要
関連著者
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福本 晃二
ルネサステクノロジ技術開発統括部
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福本 晃二
株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部
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益子 洋治
ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部
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福本 晃二
三菱電機株式会社ULSI技術開発センター
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益子 洋治
三菱電機株式会社ULSI技術開発センター
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廣瀬 幸範
株式会社ルネサステクノロジ
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廣瀬 幸範
三菱電機株式会社ULSI技術開発センター
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前田 一史
三菱電機株式会社 ULSI技術開発センター
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前田 一史
株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部
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古田 正昭
菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
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橋川 直人
三菱電機株式会社 ULSI技術開発センター
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益子 洋治
大分大学工学部
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小山 徹
株式会社ルネサステクノロジ
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山本 秀和
三菱電機パワーデバイス製作所
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松川 和人
ルネサステクノロジ技術開発統括部
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木村 泰広
ルネサステクノロジ技術開発統括部
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片山 俊治
ルネサステクノロジ技術開発統括部
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今井 ゆかり
三菱電機株式会社 ULSI技術開発センター
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小山 徹
三菱電機株式会社 ULSI技術開発センター
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福本 晃二
株式会社ルネサステクノロジ
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森本 昇
株式会社ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部プロセス開発部
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高田 祐二
株式会社ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部プロセス開発部
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益子 洋治
株式会社ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部解析技術開発部
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藤澤 雅彦
三菱電機株式会社ULSI技術開発センター
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吉田 正昭
菱電セミコンダクターシステムエンジニアリング株式会社ウェーハプロセス技術第一部
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益子 洋治
三菱電機株式会社ulsi技術開発センタープロセス評価技術部
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益子 洋治
株式会社ルネサステクノロジ 生産本部
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太田 文人
株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部
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太田 文人
三菱電機株式会社ULSI技術開発センタープロセス評価技術部
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向川 泰和
三菱電機株式会社ULSI技術開発センタープロセス評価技術部
著作論文
- EBSP/OIM法を用いたULSI配線の結晶解析技術
- SC-12-3 EBSP による先端金属配線の結晶性評価技術
- 0.1μm世代をにらんだ半導体デバイスの評価技術 (特集「半導体」)
- LSI裏面からのTEM試料抽出による不良解析技術(:「LSIシステムの実装・モジュール化, テスト技術, 一般)
- 短TAT化を実現するTEM試料作製技術
- Cu汚染起因ピット不良の評価と水素アニールおよびエピタキシャル成長による改善
- コンダクティングAFMによる微小領域の故障診断技術(:「LSIシステムの実装・モジュール化, テスト技術, 一般)
- LSI裏面からのTEM試料抽出による不良解析技術(:「LSIシステムの実装・モジュール化, テスト技術, 一般)
- コンダクティングAFMによる微小領域の故障診断技術(:「LSIシステムの実装・モジュール化, テスト技術, 一般)
- 歩留まりに影響する致命不良を抽出する故障解析システム
- Evaluation of Cu Contamination Induced Pit Failure and Improvement by Hydrogen Anneal and Epitaxial Growth