歩留まりに影響する致命不良を抽出する故障解析システム
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概要
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冗長回路を有するメモリデバイスにおいて、不良は冗長回路の救済能力の範囲内で救済可能である。そこで、我々は歩留まりに影響する致命不良を自動抽出する故障解析システムを開発した。このシステムでは、不良は救済不可能な致命不良と救済可能な不良に分けることができる。このシステムを64Mビットメモリに適用した結果、致命不良モードごとの歩留まり低下率が明確となり、本システムの有効性が確認できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-11-10
著者
-
福本 晃二
三菱電機株式会社ULSI技術開発センター
-
益子 洋治
三菱電機株式会社ULSI技術開発センター
-
益子 洋治
ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部
-
益子 洋治
三菱電機株式会社ulsi技術開発センタープロセス評価技術部
-
福本 晃二
ルネサステクノロジ技術開発統括部
-
太田 文人
株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部
-
福本 晃二
株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部
-
太田 文人
三菱電機株式会社ULSI技術開発センタープロセス評価技術部
-
向川 泰和
三菱電機株式会社ULSI技術開発センタープロセス評価技術部
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