高感度裏面エミッション検出によるウエハレベル故障分布解析

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概要

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• 近赤外領域において高感度を有するMCT(Mercury Cadmium Telluride)検出器を搭載したウエハレベル裏面発光解析装置を開発した。本装置では、Iddqテストによる異常ベクターの自動抽出から、当該ベクターでの自動発光検出に至る一連の処理を、ウエハ上の全チップに対して自動で行なうことができる。今回、我々はMCT検出器を用いた裏面からの発光検出感度が、従来の上面からの検出感度に比較して飛躍的に向上することを確認した。さらに、多層配線の実デバイスによる検証の結果、裏面からの発光検出による故障箇所の検出率が従来の上面からの検出に比べて大幅に向上することを確認した。これらの結果に加え、我々が開発したウエハレベル分布解析の有効性について紹介する。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2003-01-23

著者

• 小山 徹

  株式会社ルネサステクノロジ

• 小守 純子

  株式会社ルネサステクノロジ

• 益子 洋治

  三菱電機株式会社ULSI技術開発センター

• 益子 洋治

  ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部

• 小山 徹

  三菱電機株式会社 ULSI技術開発センター

• 小守 純子

  三菱電機株式会社ULSI技術開発センター

• 小野山 歩

  三菱電機株式会社

• 吉田 岳司

  三菱電機株式会社ULSI技術開発センタープロセス評価技術部

• 吉田 岳司

  ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部

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