SC-9-8 Backside Diagnostic Techniques for Deep sub-micron VLSI

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2002-08-20

著者

• 小山 徹

  株式会社ルネサステクノロジ

• 小守 純子

  株式会社ルネサステクノロジ

• 益子 洋治

  ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部

• 吉田 映二

  株式会社ルネサステクノロジ

• 益子 洋治

  (株)三菱電機株式会社 ULSI技術開発センター プロセス評価技術部

• 小山 徹

  (株)三菱電機株式会社 ULSI技術開発センター プロセス評価技術部

• 吉田 映二

  (株)三菱電機株式会社 ULSI技術開発センター プロセス評価技術部

• 子守 純子

  (株)三菱電機株式会社 ULSI技術開発センター プロセス評価技術部

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