SILプレートによる高分解能故障解析(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術, テスト実装, 一般)
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概要
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2002年、我々はSi基板を直接加工することによって固浸レンズ(SIL ; Solid Immersion Lens)として理想的な分解能及び検出性能が得られるFOSSIL(Forming Si Substrate into SIL)を開発した。但しFOSSILには視野が固定されるという制限があり、今回、視野移動が可能な"SILプレート"を開発した。SILプレートは装置構成を全く変更することなく、従来のSILでは不可能であったウエハ試料に対する適用が可能である。検出性能についてはFOSSILに比べ多少の分解能の劣化はあるものの、90nmデバイスに対してトランジスタレベルでの解析が可能であることを確認した。本技術は容易に適用が可能な実用的なSIL技術として有望である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-01-20
著者
-
小山 徹
株式会社ルネサステクノロジ
-
小守 純子
株式会社ルネサステクノロジ
-
益子 洋治
ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部
-
吉田 岳司
ルネサステクノロジー(株)生産技術本部ウエハプロセス技術統括部
-
小山 徹
ルネサステクノロジー(株)生産技術本部ウエハプロセス技術統括部
-
小守 純子
ルネサステクノロジー(株)生産技術本部ウエハプロセス技術統括部
-
吉田 岳司
ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部
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