複数FBMを組み合せた不良モード分類を行う故障解析システム(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
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概要
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フェイルビットマップ(FBM)解析ツールの機能として、同一サンプルに対して異なったテスト条件下で取得した複数FBMの同一領域に出現するフェイルビットパターンを組み合わせることでモード分類を詳細に行うことができるシステムを開発した。その結果、詳細な不良モード分類を容易に行うことが可能になった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-01-11
著者
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福本 晃二
株式会社ルネサステクノロジ
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前田 一史
株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部
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太田 文人
株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部
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國家 三智雄
株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部
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福本 晃二
株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部
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