福本 晃二 | 株式会社ルネサステクノロジ

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概要

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関連著者

• 福本 晃二

  株式会社ルネサステクノロジ

• 福本 晃二

  株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部

• 廣瀬 幸範

  株式会社ルネサステクノロジ

• 前田 一史

  株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部

• 太田 文人

  株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部

• 國家 三智雄

  株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部

• 工藤 修一

  株式会社ルネサステクノロジ

• 小守 純子

  株式会社ルネサステクノロジ

• 森本 昇

  株式会社ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部プロセス開発部

• 高田 祐二

  株式会社ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部プロセス開発部

• 益子 洋治

  株式会社ルネサステクノロジウエハプロセス技術統括部解析技術開発部

• 廣瀬 幸範

  三菱電機(株)ULSI技術開発センター

• 福本 晃二

  三菱電機(株)ULSI技術開発センター

• 益子 洋治

  ルネサステクノロジー(株) 生産技術本部 ウエハプロセス技術統括部

• 益子 洋治

  大分大学工学部

• 益子 洋治

  株式会社ルネサステクノロジ 生産本部

• 福本 晃二

  ルネサステクノロジ技術開発統括部

• 工藤 修一

  (株)ルネサステクノロジ

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著作論文

• 電子線トモグラフィーを用いたNiシリサイド(NiSi_x)の3D形状評価技術
• EBSP/OIM法を用いたULSI配線の結晶解析技術
• TEMによる評価・解析技術
• 複数FBMを組み合せた不良モード分類を行う故障解析システム(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
• 複数FBMを組み合せた不良モード分類を行う故障解析システム
• 複数FBMを組み合せた不良モード分類を行う故障解析システム(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)

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