B-2 超音波共鳴スペクトロスコピーによるCVDダイヤモンド薄膜の弾性定数測定(材料・計測,口頭発表)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2002-11-07
著者
-
今井 貴浩
住友電工伊丹研究所
-
市坪 哲
Department Of Material Science And Engineering Kyoto University
-
中村 暢伴
阪大院,基礎工
-
荻 博次
阪大院,基礎工
-
市坪 哲
阪大院,基礎工
-
平尾 雅彦
阪大院,基礎工
-
辰巳 夏生
住友電工
-
中幡 英章
住友電工
-
今井 貴浩
住友電気工業(株)半導体技術研究所
-
今井 貴浩
住友電工 伊丹研究所
-
中村 暢伴
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
今井 貴浩
住友電気工業 半導体研
-
中幡 英章
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
中幡 英章
住友電気工業(株)itコンポーネント事業部
-
辰巳 夏生
住友電気工業株式会社 半導体技術研究所
-
今井 貴浩
住友電気工業(株)半導体研究所
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