728 金属薄膜の成膜直後における弾性定数の高速回復現象のモニタリング(GS-3 弾性)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-14
著者
-
荻 博次
阪大基礎工
-
平尾 雅彦
阪大基礎工
-
中村 暢伴
阪大院,基礎工
-
西山 雅祥
大阪大科学技術教育機器リノベーションセンター
-
西山 雅祥
阪大
-
中島 丈雄
大阪大基礎工
-
中島 丈雄
阪大
-
中村 暢伴
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
荻 博次
阪大
-
中村 暢伴
阪大 基礎工
-
平尾 雅彦
阪大 基礎工
-
平尾 雅彦
大阪大学 大学院基礎工学研究科
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