2607 ピコ秒レーザー超音波法によるナノ薄膜の弾性定数測定と健全性評価(S22-2 非破壊評価とモニタリング(2),S22 非破壊評価とモニタリング)
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概要
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We measured the out-of-plane elastic constant C_<33> of Co and Pt ultrathin films. The films were prepared on the Si and glass substrates by rf magnetron sputtering with and without heat treatment. The film thickness was about 5〜80nm. The elastic constant was measured by picosecond-laser-ultrasounds technique. The elastic constant of Pt thin films was slightly smaller than that of the Pt bulk, while that of Co thin films depended on the substrate, despite the fact that XRD spectrum and SEM images showed little differences among specimens. These results indicate that the elastic constant can evaluate the reliability of thin films.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-07
著者
-
藤井 誠
旭硝子
-
荻 博次
阪大基礎工
-
平尾 雅彦
阪大基礎工
-
中村 暢伴
阪大院,基礎工
-
中村 暢伴
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
舎川 知広
阪大
-
舎川 知広
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
荻 博次
阪大
-
中村 暢伴
阪大 基礎工
-
平尾 雅彦
阪大 基礎工
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