電子光学装置用ダイヤモンド電子源の作製とエネルギー分散評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 日本表面科学会の論文
- 2008-03-10
著者
-
今井 貴浩
住友電気工業(株)半導体技術研究所
-
山本 喜之
住友電気工業株式会社
-
今井 貴浩
住友電気工業 半導体研
-
植田 暁彦
住友電気工業(株)半導体技術研究所
-
西林 良樹
住友電気工業(株)半導体技術研究所
-
山本 喜之
住友電気工業(株)半導体技術研究所
-
今井 貴浩
住友電気工業(株)半導体研究所
関連論文
- ダイヤモンドへの内部電極の形成とそれを用いた電子放出素子 : エミッタ電極のセルフアライン加工
- ダイヤモンドナノエミッタの開発
- ダイヤモンドの高度な反応性イオンエッチング
- 単結晶ダイヤモンドの電子デバイス応用のための微細突起加工
- 尖鋭突起加工したダイヤモンド電子エミッタの開発
- 先端材料応用技術 ダイヤモンドナノエミッターの作製とその応用
- B-2 超音波共鳴スペクトロスコピーによるCVDダイヤモンド薄膜の弾性定数測定(材料・計測,口頭発表)
- P3-33 ダイヤモンドの微粒化によるダイヤモンドSAWデバイスの低損失化(ポスターセッション3,ポスター発表)
- 低熱抵抗ダイアモンドパッケージ
- 新ダイヤモンド薄膜ヒートシンクの開発
- C-10-2 AlN基板上AlGaNチャネルHEMTの高温特性(C-10.電子デバイス,一般セッション)
- ナノ構造単結晶ダイヤモンドの精密加工
- 技術解説 ダイヤモンドの高度ドライエッチング技術の開発
- ダイヤモンドの先端加工と電子放出 (特集 ナノカーボン材料の創製と応用の最前線)
- 電子光学装置用ダイヤモンド電子源の作製とエネルギー分散評価
- CVD ダイヤモンド膜の異方性弾性定数の測定とマイクロメカニクスモデリング
- ダイヤモンド電子放出素子の開発 : n型エミッタへの展開(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
- ダイヤモンド電子放出素子の開発 : n型エミッタへの展開
- ダイヤモンド電子放出素子の開発 : 素子の均一形成と大電流化(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
- ダイヤモンド電子源の開発 : Pドープダイヤモンドの加工技術と電子放出(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
- プラズマCVD法によるダイヤモンド単結晶成長(バルク成長分科会特集-機能性材料ダイヤモンド-)
- 大型ダイヤモンド単結晶成長プロセスの開発
- 10Gbps EAドライバIC用ダイヤモンドパッケージの開発
- 新素材 電子線機器用ダイヤモンド電子源の開発
- 尖鋭加工ダイヤモンドからのフィールドエミッションの特性と大面積化 (特集1 次世代ディスプレイ!フィールドエミッションディスプレイ(FED)の構成材料と要素技術)
- リンドープダイヤモンド半導体の作製と電子エミッタへの応用
- AlN基板を用いた高Al組成AlGaN HEMTの開発
- AlGaNチャネルHEMTの高温特性評価(化合物半導体デバイス及び超高周波デバイス/一般)
- AlGaNチャネルHEMTの高温特性評価(化合物半導体デバイス及び超高周波デバイス/一般)
- AlGaNチャネルHEMTの高温特性評価
- AlGaNチャネルHEMTの高温特性評価
- 10Gbps EAドライバIC用ダイヤモンドパッケージの開発