3957 多結晶シリコンウエハの強度評価(S21-3 強度物性と信頼性,S21 ナノ・マイクロ構造体の強度物性と信頼性)
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概要
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Recently, the polycrystalline silicon market is growing over the world, and it is also desired to establish the reliability assessment. The presented paper describes a strength evaluation of polycrystalline silicon by measure of bending strength and analyze the residual stress distribution by Raman spectrometry of abraded sample and polished sample. It is found that the surface damage affect the strength of the polycrystalline silicon. And an attempt is made to measure the intrinsic crack size based on the fracture mechanics by the residual stress distribution.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-15
著者
-
坂本 博夫
三菱電機(株)
-
谷 周一
三菱電機 (株) 中央研究所
-
越前谷 大介
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
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谷 周一
三菱電機
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谷 周一
三菱電機(株)
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越前谷 大介
三菱電機
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坂本 博夫
三菱電機
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