微小ポリシリコン構造体の強度特性評価 (特集1 広がりゆくマイクロマシン)

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概要

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• 三菱電機エンジニアリングの論文

著者

• 濱田 繁

  九州大学大学院工学研究院

• 濱田 繁

  九州大学大学院工学研究院機械科学部門

• 谷 周一

  三菱電機

• 堀川 牧夫

  三菱電機

• 濱田 繁

  九州大学

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