陽極接合による封止構造を有するMEMSデバイスの開発と実用化(平成17年度日本材料学会技術賞受賞,新技術・新製品トピックス)
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概要
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- 社団法人日本材料学会の論文
- 2006-12-15
著者
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濱田 繁
九州大学大学院工学研究院
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濱田 繁
九州大学大学院工学研究院機械科学部門
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平田 善明
三菱電機(株)
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番 政広
三菱電機(株)
-
山口 靖雄
三菱電機(株)
-
奥村 美香
三菱電機(株)
-
末次 英治
三菱電機(株)
-
濱田 繁
九州大学
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