番 政広 | 三菱電機(株)
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概要
関連著者
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番 政広
三菱電機(株)
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平田 善明
三菱電機(株)
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番 政広
三菱電機 先端技総研
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武田 宗久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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濱田 繁
九州大学大学院工学研究院
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濱田 繁
九州大学大学院工学研究院機械科学部門
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山口 靖雄
三菱電機(株)
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濱田 繁
九州大学
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番 政広
三菱電機
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仲嶋 一
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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武田 宗久
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
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藤田 淳
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
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高嶋 和夫
三菱電機
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三田 信
宇宙航空研究開発機構
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谷本 考司
三菱電機(株)産業システム研究所, 三菱電機(株)姫路製作所
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岡 徹
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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三田 信
宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部
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藤田 淳
三菱電機(株)材料デバイス研究所
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高嶋 和夫
三菱電機(株) 産業システム研究所
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渡辺 勝彦
東京大学生産技術研究所
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荒木 達
三菱電機パワーデバイス統括部
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岡 徹
三菱電機(株)
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奥村 美香
三菱電機(株)
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末次 英治
三菱電機(株)
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中島 利郎
三菱電機株式会社
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大谷 浩
三菱電機
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中島 利郎
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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春田 健雄
三菱プレシジョン
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谷 周一
三菱電機
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高嶋 和夫
三菱電機(株)
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武田 宗久
三菱電機
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谷本 考司
三菱電機(株)産業システム研究所 三菱電機(株)姫路製作所
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仲嶋 一
三菱電機(株)
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中島 利郎
三菱電機(株)
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有吉 雄二
三菱電機（株）先端技術総合研究所
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仲村 恵右
三菱電機（株）先端技術総合研究所
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番 政広
三菱電機（株）先端技術総合研究所
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武田 宗久
三菱電機（株）先端技術総合研究所
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藤田 淳
三菱電機
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荒木 達
三菱電機
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番 政広
三菱電機(株)先端技術総合研究所
著作論文
- 陽極接合による封止構造を有するMEMSデバイスの開発と実用化(平成17年度日本材料学会技術賞受賞,新技術・新製品トピックス)
- 初期検出ギャップ調整機能を有する容量型加速度センサの基礎検討
- (110)シリコンのバルクマイクロマシニグを利用した容量型加速度センサ
- MEMS高精度加速度センサ (特集 マイクロ・ナノテクノロジー適用例とその評価・解析技術)
- マイクロマシニング技術を用いた超小型光学式距離センサの開発(2004年度(24回)精密工学会技術賞)
- 微小ポリシリコン構造体における強度と表面粗さの関係 (特集 マイクロ・ナノテクノロジー適用例とその評価・解析技術)
- マイクロ・ナノテクノロジー適用例とその評価・解析技術 (特集 マイクロ・ナノテクノロジー適用例とその評価・解析技術)
- MEMS技術によるマイクロセンサとRF-MEMSデバイス
- 小型・高性能半導体容量式加速度センサ (特集 パワ-デバイス)
- 新検出方式を適用した高性能ＭＥＭＳ流量センサ
- き裂エネルギ密度の立場から見たクリープき裂進展挙動とき裂進展シミュレーション