平田 善明 | 三菱電機(株)
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概要
関連著者
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平田 善明
三菱電機(株)
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番 政広
三菱電機(株)
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末次 英治
三菱電機(株)
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平岡 裕二
三菱電機エンジニアリング(株) 三田事業所
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谷本 考司
三菱電機(株)産業システム研究所, 三菱電機(株)姫路製作所
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濱田 繁
九州大学大学院工学研究院
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荒木 達
三菱電機パワーデバイス統括部
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濱田 繁
九州大学大学院工学研究院機械科学部門
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山口 靖雄
三菱電機(株)
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奥村 美香
三菱電機(株)
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大谷 浩
三菱電機
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番 政広
三菱電機 先端技総研
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谷本 考司
三菱電機(株)産業システム研究所 三菱電機(株)姫路製作所
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平田 善明
三菱電機(株) 先端技術総合研究所
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紺野 伸顕
三菱電機(株) 先端技術総合研究所
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伊藤 恭彦
三菱電機(株) 先端技術総合研究所
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末次 英治
三菱電機(株) パワーデバイス製作所
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濱田 繁
九州大学
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伊藤 恭彦
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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平田 善明
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
番 政広
三菱電機
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末次 英治
三菱電機(株)パワーデバイス製作所
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紺野 伸顕
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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平岡 裕二
三菱電機エンジニアリング(株)三田事業所
-
荒木 達
三菱電機
著作論文
- 陽極接合による封止構造を有するMEMSデバイスの開発と実用化(平成17年度日本材料学会技術賞受賞,新技術・新製品トピックス)
- (110)シリコンのバルクマイクロマシニグを利用した容量型加速度センサ
- MEMS高精度加速度センサ (特集 マイクロ・ナノテクノロジー適用例とその評価・解析技術)
- ダンピング効果を利用したメカニカル変位変換型Z軸加速度センサによる衝突速度検出の改善
- ダンピング効果を利用したメカニカル変位変換型Z軸加速度センサによる衝突速度検出の改善