(110)シリコンのバルクマイクロマシニグを利用した容量型加速度センサ
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概要
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- 1996-11-11
著者
-
谷本 考司
三菱電機(株)産業システム研究所, 三菱電機(株)姫路製作所
-
荒木 達
三菱電機パワーデバイス統括部
-
平田 善明
三菱電機(株)
-
番 政広
三菱電機(株)
-
大谷 浩
三菱電機
-
番 政広
三菱電機 先端技総研
-
谷本 考司
三菱電機(株)産業システム研究所 三菱電機(株)姫路製作所
-
番 政広
三菱電機
-
荒木 達
三菱電機
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