3-7 Co含有酸化鉄薄膜メディアの酸化処理効果
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概要
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Co-containing ferrite thin-films media deposited by reactive ECR sputtering was oxidized by ECR oxygen plasma. The perpendicular coercivity and squareness were increased by ECR plasma treatment for only 90 seconds.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2001-08-27
著者
-
山本 節夫
山口大学工学部
-
栗巣 普揮
山口大学工学部
-
松浦 満
山口大学工学部
-
土井 孝紀
戸田工業(株)創造本部
-
田万里 耕作
戸田工業(株)創造本部
-
田万里 耕作
戸田工業株式会社
-
土井 孝紀
戸田工業
-
平田 京
山口大学工学部
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